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【旧世代】ArF液浸露光技術の半導体情報と関連企業について

半導体リソグラフィー(ArF液浸露光)

私たちの身の回りには、半導体が溢れています。

生活をより便利にサポートしてくれる家電やコンピューター機器には半導体は欠かせないもので、これらはより高性能化することが求められています。今後の高性能化においては、半導体の微細化がほぼ同義として使われ、回路をより高密度で製造する動きは今後も加速するでしょう。

今回は半導体の微細化にとって、重要な役割を担っている半導体製造装置大手のASMLで決算内容に変化が見られたので、

みんながよく知るEUV(Extreme Ultra-Violet : 極端紫外線)ではなく、大きな成長が見られた「ArF液浸露光」に焦点を絞りました。

本記事ではArF液浸露光に関連する企業について書かせていただきます。ぜひ、最後までご覧ください。

筆者紹介
テーマ型投資ブログ-バンビーノバンビーノ(@ChiL707)

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レガシー技術のArF液浸露光技術

まずはArF液浸露光の歴史など概要を見ていきましょう。

過去の最先端技術「ArF液浸露光」

現在、最先端の半導体製造に使われている露光技術はEUV露光技術ですが、ほんの数年前まではArFレーザー光源と液体レンズを組み合わせた「ArF液浸露光技術」が最先端と言われてきました。

オランダの半導体製造装置大手ASMLは、およそ15年前の2007年よりArF液浸露光装置(ArF液浸スキャナ)の改良を重ねています。

しかし、最先端技術であったArF液浸露光はいまやEUV露光に置き換わり、そのシェアを潜めています。

バンドッグ
バンドッグ
ArF液浸はEUV露光技術が主力となったことで今はレガシー技術となってしまったようだ。

ArF液浸の特徴とは?

ArF液浸装置の特徴はマルチパターニングに対応していることが挙げられます。

マルチパターニングとは、1層(ワンレイヤ)の微細なパターンを形成するために、複数回の露光を繰り返すことです。

しかし、大量生産中の最先端世代である5nmや7nmのロジック半導体を本格的に量産するためにはArF液浸のマルチパターニングだけでは不十分で、EUV露光技術を採用する必要があります。

その為、AfF液浸の出番は影を潜めている状況です。

ArF液浸の提供事業者はどこ?

ArF液浸の提供事業者としてよく名前が挙がるのは、国内ではニコンとキヤノンではないでしょうか?キヤノンは現在ArF液浸より1世代前の半導体製造装置で活躍しており、KrF露光市場ではおよそ20%の市場シェアとなっています。

一方のニコンは2021年秋にも新製品(ArF液浸スキャナー)を発表するなど半導体デバイス構造の三次元化に必要な高精度かつ高生産性の両立を目指しています。

なお、今後はロジック半導体やメモリー、CMOSセンサーなど最先端の半導体デバイス製造に対応予定であることを明かしています。



ArF液浸の関連企業

続いてはArF液浸の関連企業を見ていきましょう。

業界2位:ニコン(7731)

ニコンの事業内容(売上比率)

ArF液浸で業界2位となっているのは光学技術で有名な株式会社ニコンです。

ニコンは1917年創業の老舗企業でグループ会社数は96社にも渡り、従業員はおよそ2万人雇用しています。事業の内訳として、ArF液浸露光などを手掛ける「精機事業」は売上高に占める41%と高い比率となっておりメイン事業と言えるでしょう。

ArF液浸における市場シェアはおよそ7%です。

ニコンの業績は好調??

日本有数の大企業であるニコンですが、業績は大きく低迷しています。

売上高は年々減少しており、2019年来2期連続の赤字決算です。今期は大幅な業績回復を実現し、第3四半期終了時点で最終利益を34%上方修正しています。

しかしながら、感染症拡大による影響は予断を許さない状況になりますので、来期業績の見通しなどは注目が集まりそうです。

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日本経済新聞に取り上げられる

日本経済新聞社の朝刊で「旧世代の半導体製造装置への需要が高まっている」と報じられ、好材料視されています。とくにキヤノンを紹介した際に出したKrF露光よりも前に登場した半導体リソグラフィーの「i線」の需要増加が期待され、期待が高まっています。

業界1位:ASML Holdings(ASML)

続いては業界首位のASML Holdings(ASML)です。

ASMLは最先端技術における市場シェアを大きく締めています。まず5nm半導体の製造などに活用されるEUV露光装置ではシェア100%、ArF液浸露光装置では92%(2位ニコン8%)、KrF露光装置では77%(2位キヤノン20%)となっています。

バンビーノ
バンビーノ
最先端の半導体を製造するにはASMLは欠かせない存在なんだね。
バンドッグ
バンドッグ
その通りだ。次世代EUV露光技術もASMLが大きく前進していると言われているぞ。

半導体不足は今後2年間続くと警鐘

ASMLは半導体不足は今後2年間続くと警鐘を鳴らしています。元々は感染症拡大によるロックダウンなどで半導体を作るための半導体が不足するという事態が続いていましたが、製造設備の増強がグローバルで安定するには、それなりの時間を要するとしています。

その一方、供給バランスが著しく分かれることで供給過多になる可能性も考えられるでしょう。

需給バランスが崩れることは当面考えられませんが、供給過多になった場合は既存製品の価格が暴落するリスクなどもあります。

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総括

いかがでしたでしょうか。

本記事では旧世代の半導体製造装置である「ArF液浸露光」に関連する情報と企業を纏めました。情報量が少なく、将来性を兼ね備えるEUV露光技術に比べたら寿命は短いかもしれませんが、これからもArF液浸露光技術は一定需要があることでしょう。

日本国内ではニコンが唯一頑張って市場シェア2位の座を守り続けていますので、業界最大手のASML Holdings が開示する決算資料を基に新規購入を検討してみてはいかがでしょうか。

最後までお読みいただきありがとうございます。

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バンビーノ
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